◎ 2007年
成功研制全自動氣體凈化設(shè)備,同年完成全自動(氬氣、氮氣、氧氣)凈化設(shè)備的市場投放。(用PLC控制,電磁閥執(zhí)行)
◎ 2012年
研發(fā)全自動稀有氣體純化器,用于純化氪氣、氙氣、氦氣、氖氣等稀有氣體,能將總雜質(zhì)含量控制在1ppm以內(nèi),部分雜質(zhì)可控在PPt。(完成了除氟化物催化劑的定性和生產(chǎn),以及單片機和超純氣體閥門的研發(fā))
◎ 2014年
研制全自動氣體純化器,用于純化氧氣、氬氣、氮氣等電子氣,其中雜質(zhì)總含量在1ppm以下,露點小于-80℃。
◎ 2016年
開始研制氖氦混合氣的凈化→→純化→→分離設(shè)備。研發(fā)氦氣、氬氣循環(huán)凈化與純化設(shè)備,并成功應(yīng)用到低溫實驗室和納米材料生產(chǎn)中。